TECH&PRODUCTS
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Fume Free System
세계를 이끌어 갈 반도체 장비 산업의 선도적인 엔지니어링 솔루션
FFS 2000 주요기능
- 웨이퍼 잔류 가스(fume) 제거
- 온/습도 Control
- 외기 차단 (반응성 효과 감소)
- 용이한 Set up 및 유지 보수
- 실시간 설비 환경 Monitoring
FFS Hybrid 주요기능
- 웨이퍼 공정 수율을 향상시키기 위한 반응성 홈이나 파티클 오염원을 웨이퍼
이송 중 제어하는 시스템으로 미세 공정에 더 효과적으로 환경을 제어해 줄 수
있는 기술이 적용된 차세대 Fume Free System - 10nm 이하의 공정을 타겟으로 다양하게 웨이퍼를 처리할 수 있는 모드가
적용된 System (다양한 기류제어 모드) - 회전 기류 및 편향 기류를 통한 유속 제어 및 외기 차단 기능
